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J-GLOBAL ID：200902290621372408   整理番号：08A0466423

H₂Oイオン照射した異種材料の表面改質および直接接合

Surface Modification and Direct Bonding of Different Materials Irradiated H₂O Ion

著者 (5件)： NISHIMOTO Kazufumi (Lab. of Advanced Sci. & Technol. for Ind., Univ. of Hyogo) ,  ISHIZAWA Naoya (Lab. of Advanced Sci. & Technol. for Ind., Univ. of Hyogo) ,  UEDA Hiroyasu (TOKAI RIKA CO., LTD.) ,  NODA Daiji (Lab. of Advanced Sci. & Technol. for Ind., Univ. of Hyogo) ,  HATTORI Tadashi (Lab. of Advanced Sci. & Technol. for Ind., Univ. of Hyogo)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 2  号： 2  ページ： 197-202 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 信頼できる接合技術は,マイクロマシンのような微細構造の製造に必要である。とくに異種材料を接合できる技術にはそうである。しかしながら,これらの技術は,熱膨張率が異なる材料には使えないし,接着剤が部品材料の特性に影響を与える場合にも使えない。著者らの研究は,水素結合を用いる直接接合技術の開発に焦点をあてた。この技術では,OH基は材料表面に吸収され,その材料は表面特性をイオン照射で改質させ接合されている。著者らは,H₂Oイオン照射およびAr洗浄による2つの樹脂((SU-8およびPMMA)の表面特性の改質について研究した。これらの樹脂の表面におけるH₂Oイオンの存在はそれらの親水性や,両樹脂上に堆積したCu膜の剥離強さも改善したことが確認された。これらの研究結果に基づき,一連の実験を行い,その中で2つの異なる材料(銅プラス,樹脂のうちの一方ないし他のもの)を直接接合し,結果を評価した。各樹脂を温度を100°Cまで加熱し10MPaまで加圧して銅に接合できる可能性がある。この接合技術を現在,著者らが開発中の傾斜センサーの製造に適用する予定である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *イオン照射 ,  *表面改質 ,  *接合 ,  水 ,  水素結合 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  フォトレジスト ,  親水性 ,  銅 ,  *異種材料 ,  フォトレジストSU-8
準シソーラス用語： SU-8

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• [1] Masao NAGAKUBO, Harumi SUZUKI, Tadashi HATTORI: “Direct Bonding between Aluminum and Silicon by the Formation of Hydrogen of Bonds”, JSME Series A, Vol. 40, No 4 (1997) in Japanese
• [2] H. Ueda, H. Ueno, K. Itoigawa, T. Hattori, “Electrostatic Capacity Type Micro Inclination Sensor Utilizing Dielectric Nano-Paticles”, Proceedings of 2006 International Symposium on Micro-Nanomechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, 2006, pp 545-550.
• [3] Shuhei Yamashita, Yoshifumi Matsumoto, Kazuyoshi Idei, Kouichi Okuda, Daiji Noda and Tadashi Hattori “An Electromagnetic Actuator Using a Cylindrical Coil Created with 3-D X-ray Lithography and Metallization Techniques”, Proceedings of 2006 International Symposium on Micro-Nanomechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, 2006, pp 143-148.

タイトルに関連する用語 (5件)： H2O ,  イオン照射 ,  異種材料 ,  表面改質 ,  直接接合