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J-GLOBAL ID：200902290838120644   整理番号：03A0380681

圧痕法による破壊靭性の評価及びそのけい素単結晶の表面エネルギーとの関係

Fracture Toughness Evaluated by Indentation Methods and Its Relation to Surface Energy in Silicon Single Crystals

著者 (5件)： TANAKA M (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  HIGASHIDA K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  NAKASHIMA H (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  TAKAGI H (Nihon Univ., Fukushima, JPN) ,  FUJIWARA M (Nihon Univ., Fukushima, JPN)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 44  号： 4  ページ： 681-684  発行年： 2003年04月20日 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS候補材料のSi単結晶の室温破壊靭性を圧痕法で調べた。...

シソーラス用語： *表面エネルギー ,...

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分類 (1件)： その他の材料  (HC04050S)

引用文献 (23件)：

• 1) W. Lang: Mater. Sci. Eng. R17 (1996) 1–55.
• 2) M. Esashi: Vacuum 47 (1996) 469–474.
• 3) A. E. Carlsson and R. Thomson: Solid State Physics, Ed. by H. Ehrenreich and F. Spaepen, Vol. 51 (Academic Press, 1997) pp. 233–280.
• 4) C. P. Chen and M. H. Leipold: Am. Ceram. Soc. Bull. 59 (1980) 469–472.
• 5) K. Hayashi, S. Tsujimoto, Y. Okamoto and T. Nishikawa: J. Soc. Mater. Sci. Japan 40 (1991) 405–410.

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧痕 ,  破壊靭性 ,  評価 ,  けい素 ,  単結晶 ,  表面エネルギー