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J-GLOBAL ID：200902291227866949   整理番号：04A0785932

不均一集積のための半導体ブロックの流体力学アセンブリー

Fluid Dynamic Assembly of Semiconductor Blocks for Heterogeneous Integration

著者 (5件)： SOGA I (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  OHNO Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KISHIMOTO S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MAEZAWA K (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIZUTANI T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 9A  ページ： 5951-5954  発行年： 2004年09月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不均一集積のための流体アセンブリー(FA)技術を研究した。こ...

シソーラス用語： *集積 ,...
準シソーラス用語： 流体アセンブリー ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• 1) A. K. Verma, M. A. Hadley and J. S. Smith: Proc. 45th Electronic Components Technology Conf., Las Vegas, Nevada, USA, 1995, p. 1263.
• 2) H.-J. J. Yeh and J. S. Smith: IEEE Photon. Technol. Lett. 6 (1994) 706.
• 3) J. J. Talghader, J. K. Tu and J. S. Smith: IEEE Photon. Technol. Lett. 11 (1995) 1321.
• 4) I. Soga, Y. Ohno, S. Kishimoto, K. Maezawa and T. Mizutani: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 2226.

タイトルに関連する用語 (4件)： 不均一 ,  集積 ,  流体力学 ,  アセンブリー