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J-GLOBAL ID:200902291604988647   整理番号:08A0194011

マイクロジェットドロップオンデマンドを用いるマイクロ光学レンズの製造

Production of Micro-Optical Lenses Using Micro-jet Drop-On-Demand
著者 (4件):
資料名:
巻: 364/366 Pt.1  ページ: 30-34  発行年: 2008年 
JST資料番号: D0744C  ISSN: 1013-9826  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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改良インクジェットヘッドとマイクロ電気機械システム(MEMS)を用いて,プラスチックを滴下する方法を提案した。MEMS製造の例として,マイクロ光学レンズ作製を取り上げ,液晶ディスプレイのバックライトに応用した。滴下条件がレンズ形状に影響するため,パラメータをL18直交配列の実験計画法を用いて最適化した。金属溶液を用いるMEMS製造も,本研究の結果から可能である。
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分類 (2件):
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その他の成形  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (1件):
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