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J-GLOBAL ID：200902291769926859   整理番号：04A0302865

微細加工によるアルカリ金属原子蒸気セル

Microfabricated alkali atom vapor cells

著者 (6件)： LIEW L-A (National Inst. Standards and Technol., Colorado) ,  KNAPPE S (National Inst. Standards and Technol., Colorado) ,  MORELAND J (National Inst. Standards and Technol., Colorado) ,  ROBINSON H (National Inst. Standards and Technol., Colorado) ,  HOLLBERG L (National Inst. Standards and Technol., Colorado) ,  KITCHING J (National Inst. Standards and Technol., Colorado)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 84  号： 14  ページ： 2694-2696  発行年： 2004年04月05日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン微細加工と陽極結合技術を利用して,チップサイズのアル...

シソーラス用語： エッチング ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化 ,...

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分類 (2件)： 分析試薬  (CC02030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細加工 ,  アルカリ金属 ,  原子蒸気 ,  セル