マイクロピペットをダイヤモンド状炭素で被覆するためのプラズマ促進化学蒸着法

KAKUTA Naoto; WATANABE Mayu; YAMADA Yukio; OKUYAMA Naoki; MABUCHI Kunihiko

文献

J-GLOBAL ID：200902291997301150 整理番号：05A0747683

マイクロピペットをダイヤモンド状炭素で被覆するためのプラズマ促進化学蒸着法

Plasma-enhanced chemical vapor deposition method to coat micropipettes with diamond-like carbon

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資料名：
巻： 76 号： 7 ページ： 075109.1-075109.5 発行年： 2005年07月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマ促進化学蒸着によるダイヤモンド状炭素(DLC)による...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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