CF<sub>4</sub>分解用非熱的プラズマリアクタの効率(effect)

PARK J Y; JUNG J G; KIM J S; RIM G-H; KIM K-S

文献

J-GLOBAL ID：200902292141030305 整理番号：04A0183524

CF₄分解用非熱的プラズマリアクタの効率(effect)

Effect of Nonthermal Plasma Reactor for CF₄ Decomposition

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資料名：
巻： 31 号： 6,Pt.2 ページ： 1349-1354 発行年： 2003年12月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

針-平板リアクタ(NPR),金属-粒子リアクタ(MPR),孔...

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プラズマ応用 , 産業排ガス処理 , 有害ガス処理法

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CF4分解用非熱的プラズマリアクタの効率(effect)

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