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J-GLOBAL ID：200902293113815875   整理番号：05A1019122

異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第2報)-切削性能評価とミリ加工機の試作-

Development of Silicon Micro Multi-edged Tool Using Anisotropic Etching (2nd Report)-Evaluation of Machining Performance for the Micro Tool and Manufacturing of Prototype Milli-sized Cutting Device-

著者 (4件)： 山口智実 (関西大 工) ,  樋口誠宏 (関西大 工) ,  島田尚一 (大阪電通大 工) ,  西沢啓之 (関西大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 10  ページ： 1276-1280  発行年： 2004年10月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超砥粒砥石の代替として,単結晶シリコンに対する異方性エッチン...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： マイクロ多刃工具 ,...

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分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (4件)：

• 山口智実. 異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発 (第1報)-工具の作製設計システムの構築-. 精密工学会誌. 2004, 70, 9, 1194
• 梅原徳次. 均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性-異方性エッチングによるマイクロ多刃工具から MAGIC 砥石へ-. 砥粒加工学会誌. 2001, 45, 6, 283
• 海老原大樹. 永久磁石反発形磁気浮上方式の浮上力と横ずれ力の解析. 電気学会論文誌B. 1986, 106, 11, 977
• 江崎忍. 有気孔ビトリファイドボンド超微粒ダイヤモンドホイールの研究 第1報 : 試作と超仕上げへの適用結果. 2002年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集, (2002). 2002, 121

タイトルに関連する用語 (9件)： 異方性エッチング ,  シリコン ,  マイクロ ,  多刃工具 ,  開発 ,  切削性能 ,  評価 ,  加工機 ,  試作