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J-GLOBAL ID：200902294054983838   整理番号：09A1004239

GaAs微小機械共振器の反対称結合振動を用いた高感度電荷検出

著者 (6件)： 岡本創 (NTT 物性科学基礎研) ,  鎌田雄仁 (NTT 物性科学基礎研) ,  鎌田雄仁 (東北大 大学院) ,  小野満恒二 (NTT 物性科学基礎研) ,  山口浩司 (NTT 物性科学基礎研) ,  山口浩司 (東北大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 70th  号： 3  ページ： 1285  発行年： 2009年09月08日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ヒ化ガリウム ,  *マイクロマシン ,  *共振器 ,  機械振動 ,  電荷 ,  検出 ,  高感度 ,  マイクロマシニング ,  梁 ,  ヒ化ガリウムアルミニウム ,  レーザ照射 ,  干渉測定 ,  固有振動数 ,  圧電アクチュエータ ,  *電荷検出
準シソーラス用語： *微小機械共振器

分類 (2件)： 電流,電圧,電荷の計測法・機器  (AD07020C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： GaAs ,  微小機械共振器 ,  高感度 ,  電荷検出