分光散乱分析を用いた光学的計測における実際構造の影響

QUINTANILHA R.; HAZART J.; THONY P.; HENRY D.

文献

J-GLOBAL ID：200902294833436282 整理番号：05A0888968

分光散乱分析を用いた光学的計測における実際構造の影響

Influence of the real-life structures in optical metrology using spectroscopic scatterometry analysis

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資料名：
巻： 5858 ページ： 58580C.1-58580C.12 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

分光学的散乱分析における,分光学的形跡及び散乱測定に及ぼす一...

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光学的測定とその装置一般

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