ミラー磁場を用いた低電子温度ECRプラズマの生成

文献

J-GLOBAL ID：200902295334260307 整理番号：04A0020967

Generation of a low-electron-temperature ECR plasma using mirror magnetic field

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資料名：
巻： 174/175 ページ： 152-156 発行年： 2003年09月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

プラズマ窒化に用いるAr/N₂気体EC...

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プラズマ生成・加熱

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