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J-GLOBAL ID：200902295467140479   整理番号：09A0096480

レーザー・集束イオンビーム複合加工に関する研究(第1報)-レーザー・集束イオンビーム複合加工機の開発-

著者 (14件)： 山岸光 (長野県工業技術総合セ) ,  吉田善一 (東洋大 工) ,  坂上榮松 (長野県テクノ財団) ,  守屋俊浩 (野村ユニソン) ,  増澤恒明 (平出精密) ,  矢島正男 (タカノ) ,  池田博通 (長野県工業技術総合セ) ,  横道正和 (長野県工業技術総合セ) ,  尾坂一 (長野県工業技術総合セ) ,  小口京吾 (長野県工業技術総合セ) ,  若林優治 (長野県工業技術総合セ) ,  新井亮一 (長野県工業技術総合セ) ,  小林耕治 (長野県工業技術総合セ) ,  長洲慶典 (長野県工業技術総合セ)
資料名： 長野県工業技術総合センター研究報告  (Research Reports of Nagano Prefecture General Industrial Technology Center)
号： 3  ページ： 61-65  発行年： 2008年10月 
JST資料番号： Z0342C  ISSN： 1881-3119  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密・微細な表面構造を持つ光学部品や,マイクロ医療用デバイスなどの超微細デバイスを作製するために,レーザーと集束イオンビームを複合させたレーザー・集束イオンビーム複合加工機を開発した。この装置は,集束イオンビーム(FIB),UVレーザー,ファイバーレーザー,フェムト秒ファイバーレーザーの4種類の加工装置と,原子間力顕微鏡(AFM),デカミクロン形状測定装置(共焦点型レーザー変位計),輪郭形状測定装置(接触式粗さ計)の3種類の測定装置で構成されており,工作物の着脱無しで,ミリメートルからセンチメートルスケールの広面積に,ナノメートルからマイクロメートルスケールの三次元構造が加工でき,また,ミリメートルからナノメートルスケールでの機上計測が可能である。(著者抄録)

シソーラス用語： *レーザビーム ,  *集束イオンビーム ,  *複合加工 ,  *工作機械 ,  *超精密加工 ,  光学系 ,  *微細構造 ,  表面構造 ,  マイクロ化 ,  医療機器 ,  紫外線 ,  ファイバレーザ ,  パルスレーザ ,  原子間力顕微鏡 ,  形状測定 ,  計測器 ,  構造 ,  マイクロレンズ ,  金型 ,  仕上 ,  計測 ,  ナノメータ加工 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： デバイス ,  マイクロレンズアレイ ,  加工装置 ,  機上計測 ,  光学部品 ,  三次元構造 ,  測定装置 ,  *超微細構造 ,  *複合加工機

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザー ,  集束イオンビーム ,  複合加工 ,  研究 ,  複合加工機 ,  開発