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J-GLOBAL ID：200902295524374813   整理番号：04A0692333

熱処理によるZnO薄膜中の結晶欠陥の変化

著者 (3件)： 河野巧 (高知工科大) ,  西田謙 (高知工科大) ,  河東田隆 (高知工科大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 65th  号： 2  ページ： 547  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *熱処理 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (3件)： 熱処理 ,  ZnO薄膜 ,  結晶欠陥