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J-GLOBAL ID:200902295567626360   整理番号:09A0386095

ガスセンサ技術の新しい展望

New perspectives of gas sensor technology
著者 (2件):
資料名:
巻: 138  号:ページ: 100-107  発行年: 2009年04月24日 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ガスセンサ技術を前進させる最近の2つの話題を紹介した。半導体ガスセンサはこれまで実験的に開発されてきたが,今日では基礎理論が更なる開発のために利用できる。理論は検知器の機能における半導体の物理特性と気体の化学特性の役割を明らかにする。ガスセンサに利用する微小プラットフォームの作成にMEMS技術が利用されている。微小プラットフォームは新しい革新的機能をもつガスセンサを提供すると思われる。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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