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J-GLOBAL ID：200902295578683447   整理番号：08A0703054

ラジオ周波数マグネトロンスパッタリングにより調整したFeに基づく酸化膜の光記録

Optical Recording Fe-Based Oxide Films Prepared by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

著者 (5件)： AOKI Takanori (Osaka Sngyo Univ., Osaka, JPN) ,  SUZUKI Akio (Osaka Sngyo Univ., Osaka, JPN) ,  MISHIRO Kazuma (Osaka Sngyo Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUSHITA Tatsuhiko (Osaka Sngyo Univ., Osaka, JPN) ,  OKUDA Masahiro (Okuda Technical Office, Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of the Symposium on Phase Change Optical Information Storage  (Proceedings of the Symposium on Phase Change Optical Information Storage)
巻： 18th  ページ： 3-8  発行年： 2006年 
JST資料番号： L1450A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1回書込みディスク用の媒体としてラジオ周波数マグネトロンスパッタリングにより調整したFeに基づく酸化膜を用いたときに,ポリカーボネート基板上膜の3T信号CNRが書込みピーク依存性をもつことを見出した。同時に,書込みスポットの周囲にクラックが形成されることをSEMにより観測した。この現象を制御するために,記録層上に,ZnS-SiO₂保護層を被覆させた。6mW書込みパワーの場合に,50nmの保護層により,58dBのCNRが得られた。さらに,保護層を150nm厚みにすると,10mWの書込みパワーまでCNRの急激な減少がないことを見出した。この処理は,蒸着直後の透過率が,焼なましにより減少することに起因するCNRの減少を改良したものである。

シソーラス用語： *光ディスク ,  *光学記録 ,  鉄 ,  マグネトロンスパッタリング ,  酸化膜 ,  ポリカーボネート ,  亀裂発生 ,  硫化亜鉛 ,  二酸化ケイ素 ,  保護膜 ,  厚み ,  スパッタ蒸着 ,  焼なまし ,  透過率 ,  一回書込永久メモリ ,  化成皮膜
準シソーラス用語： CNR ,  *相変化ディスク

分類 (3件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ラジオ ,  マグネトロンスパッタリング ,  Fe ,  酸化膜 ,  光記録