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J-GLOBAL ID：200902295818968584   整理番号：05A0634814

エキシマレーザ有機金属堆積による種々の基板上への酸化すず膜の成膜

Preparation of tin oxide films on various substrates by excimer laser metal organic deposition
著者 (6件)：
TSUCHIYA T.

TSUCHIYA T. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba 305-8565, JPN)

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DAOUDI K.

DAOUDI K. について

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YAMAGUCHI I.

YAMAGUCHI I. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba 305-8565, JPN)

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MANABE T.

MANABE T. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba 305-8565, JPN)

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KUMAGAI T.

KUMAGAI T. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba 305-8565, JPN)

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MIZUTA S.

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資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 247  号： 1-4  ページ： 145-150  発行年： 2005年07月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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エキシマレーザ有機金属堆積(ELMOD)及び熱有機金属堆積(...
シソーラス用語：
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パルスレーザ照射

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酸化物薄膜 
(BK14050P)

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