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J-GLOBAL ID：200902296034171473   整理番号：09A0284667

改良型SF-MDCによるマイクロCuロッドの作製

著者 (4件)： 後藤良仁 (北大 大学院) ,  菊地竜也 (北大 大学院) ,  坂入正敏 (北大 大学院) ,  伏見公志 (北大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 119th  ページ： 198-199  発行年： 2009年03月02日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロリアクタ ,  電解装置 ,  管 ,  *銅めっき ,  *電鋳 ,  *破断強さ ,  表面性状 ,  *微細加工 ,  *金属棒 ,  *銅 ,  *機械的性質 ,  *強度
準シソーラス用語： キャピラリー ,  ロッド

分類 (2件)： 電鋳  (WC08040Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： SF ,  MDC ,  マイクロ ,  Cu ,  ロッド ,  作製