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J-GLOBAL ID：200902296055942585   整理番号：06A0790540

「アークプラズマガンによるナノ薄膜,ナノ粒子の形成について」

著者 (10件)： 阿川義昭 (アルバック) ,  栄顕一郎 (アルバック) ,  齋藤敦史 (アルバック) ,  山口広一 (アルバック) ,  松浦正道 (アルバック) ,  鈴木康正 (アルバック) ,  原泰博 (アルバック) ,  中野美尚 (アルバック 筑波超材料研) ,  塚原尚希 (アルバック 筑波超材料研) ,  村上裕彦 (アルバック 筑波超材料研)
資料名： ULVAC Technical Journal  (ULVAC Technical Journal)
号： 65  ページ： 1-5  発行年： 2006年09月22日 
JST資料番号： L3761A  ISSN： 0910-6189  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アルバックでは同軸型の真空アーク蒸着源の開発を行い,2000...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング

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分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.49 1998 p9-11
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.57 2002 p1-5
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.63 2005 p1-5
• M. Hiramatsu, et al Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No 22(2005)
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.63 2005 p1-5

タイトルに関連する用語 (4件)： アーク ,  プラズマガン ,  ナノ薄膜 ,  ナノ粒子