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J-GLOBAL ID：200902296616081983   整理番号：08A0308851

硬質薄膜の摩耗特性評価のためのマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)試験法とその装置の開発

Development of a Micro Slurry-Jet Erosion Test (MSE) and Apparatus for Evaluation of Wear Properties of Hard Thin Coatings

著者 (4件)： 松原亨 (マコー) ,  平井雄一 (福井大 大学院工学研究科) ,  春日井直生 (三菱重工業) ,  岩井善郎 (福井大 大学院工学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 74  号： 739  ページ： 710-716  発行年： 2008年03月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 新しい薄膜技術や薄膜製造での品質を見極めるツールとしての評価技術は必須なものである。そこで著者らは基材の影響を受けずに薄膜単体の性状の違いを評価することができるマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法を提案した。微粒子高速衝突を精密に制御できるポット式MSE試験装置を開発し,その特性と試験結果の再現性と信頼性を確認した。ポット式MSE法の摩耗率は投射粒子量当たりの摩耗量で表示することを検討し,μm/g/mm²,mm³/gでTiN,TiCN,CrNの摩耗率を示した。硬質薄膜の評価において投射粒子量当たりの摩耗率という汎用性を有する摩耗評価単位で記述できるようになったことで,粒子衝突条件による皮膜特性の違いを比較することができ,MSE法の優位性を明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： エロージョン腐食 ,  薄膜 ,  *摩耗特性 ,  トライボロジー ,  金属薄膜 ,  摩耗率
準シソーラス用語： *マイクロスラリージェットエロージョン ,  *硬質薄膜 ,  金属皮膜

分類 (1件)： 金属の機械的性質  (BL01022T)

引用文献 (12件)：

• HOLMBERG, K. Coating Tribology, Tribology Series. 1994, 28, 257-308
• HOGMARK, S. Mechanical and Tribological Requirements and Evaluation of Coating Composites. Modern Tribology Handbook. 2001, II, 931-963
• The Japan Society of Mechanical Engineers ed. Standard Method for Evaluating the Defects in the Coatings Made by Dry Processing. 1996, 1-5
• IWAI, Y. Evaluation of wear resistance of thin hard coatings by a new solid particle impact test. Wear. 2001, 251, 861-867
• IWAI, Y. Evaluation of erosive wear resistance of TiN coatings by a slurry jet impact test. Wear. 2006, 261, 112-118

タイトルに関連する用語 (5件)： 硬質薄膜 ,  摩耗特性 ,  評価 ,  試験法 ,  開発