シリコン表面のナノ構造形成

PEDRAZA A J; FOWLKES J D; GUAN Y-F

文献

J-GLOBAL ID：200902296634435423 整理番号：03A0465366

シリコン表面のナノ構造形成

Surface nanostructuring of silicon

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資料名：
巻： 77 号： 2 ページ： 277-284 発行年： 2003年07月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

波長248nmの偏光レーザ光の照射により,平坦なシリコン表面...

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レーザ照射・損傷 , 半導体の表面構造

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