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J-GLOBAL ID：200902296788423509   整理番号：09A0939913

大口径(12インチ)NTD-Si半導体製造のためのJRR-3重水タンク改造の検討(3)更新方法

著者 (5件)： 小林健一 (日本原子力研究開発機構) ,  市村俊幸 (日本原子力研究開発機構) ,  佐藤正幸 (日本原子力研究開発機構) ,  根本吉則 (日本原子力研究開発機構) ,  根本工 (日本原子力研究開発機構)
資料名： 日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM)  (日本原子力学会秋の大会(CD-ROM))
巻： 2009  ページ： E07  発行年： 2009年08月28日 
JST資料番号： S0818B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大口径(12インチ)NTD-Si半導体製造のために必要なJRR-3重水タンクの更新方法について発表する。(著者抄録)

シソーラス用語： *研究用原子炉 ,  *重水 ,  *水槽 ,  *改造 ,  *ドーピング ,  廃棄物処分 ,  *核変換ドーピング

分類 (1件)： 線源,照射装置  (MC01020V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大口径 ,  インチ ,  Si ,  半導体製造 ,  3重 ,  水タンク ,  改造 ,  更新