自己組織化半導体ナノ構造の構造特性

STANGL J; HOLY V; BAUER G

文献

J-GLOBAL ID：200902297344360400 整理番号：05A0094404

自己組織化半導体ナノ構造の構造特性

Structural properties of self-organized semiconductor nanostructures

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資料名：
巻： 76 号： 3,Pt.1 ページ： 725-783 発行年： 2004年07月
JST資料番号： D0518A ISSN： 0034-6861 CODEN： RMPHAT 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

分子ビームエピタクシー,種々のCVD法や液相エピタクシーを含...

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半導体薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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