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J-GLOBAL ID：200902297775144739   整理番号：08A0516867

短い波長の適用のための無電解ニッケル造型金型の超精密研磨

Ultra-precision polishing of electroless nickel molding dies for shorter wavelength applications

著者 (8件)： NAMBA Y. (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  SHIMOMURA T. (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  FUSHIKI A. (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  BEAUCAMP A. (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  INASAKI I. (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  KUNIEDA H. (Dep. of Physics, Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  OGASAKA Y. (Dep. of Physics, Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMASHITA K. (Dep. of Physics, Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)  (CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻： 57  号： 1  ページ： 337-340  発行年： 2008年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無電解ニッケルは光学系成形金型のための最善の材料の一つである。それは適合した硬度と耐久性とともにダイヤモンドバイトによる旋削と研磨での加工性による。本論は,0.3nmRMS以下の表面粗さを持つ超平滑面を必要とする次世代のX線望遠鏡ミラーのための硬い非球面成形金型の超精密研磨を取り扱った。材料は様々な方法で加工され,0.23nmRMSの表面粗さを直径300mmの非球面金型表面に得られた.0.16nmRMSの表面粗さが平金型から複製されたプラチナ/炭素多層ミラーの表面に達成された。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *研磨 ,  *超精密加工 ,  金型 ,  無電解めっき ,  ニッケルめっき ,  非球面鏡 ,  *超仕上

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 波長 ,  無電解ニッケル ,  造型 ,  金型 ,  精密研磨