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J-GLOBAL ID：200902297945504727   整理番号：09A0806480

薄い硬質被覆の摩耗特性の評価のための新型マイクロスラリー-噴流エロージョン(MSE)試験機の開発

Development of a new type micro slurry-jet erosion (MSE) tester for evaluation of wear properties of hard thin coatings

著者 (4件)： IWAI Yoshiro (Univ. Fukui, Fukui, JPN) ,  MATSUBARA Tohru (Macoho Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  HIRAI Yuichi (Univ. Fukui, Fukui, JPN) ,  HOGMARK Sture (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： Lubrication Science  (Lubrication Science)
巻： 21  号： 6  ページ： 213-226  発行年： 2009年06月 
JST資料番号： D0612D  ISSN： 0954-0075  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表記摩耗特性を迅速に評価するために,新しいタイプのMSE試験,固体粒子衝撃エロージョン試験を提案した。本装置は,撹拌器,ノズル,スラリートレイを有するポットから構成した。固体粒子体を含む一定量の水スラリーをポットに入れ,ノズルにおける圧縮空気により混合,加速して,高速度で放射した。衝撃固体粒子は,平均径が1.2mmのアルミナ粒子を使用した。本装置を,参照材料としての単結晶シリコンウエハ試験片を使用して試験した。また,本装置の性能を,高速度鋼基板上に物理蒸着したTiN被覆の摩耗抵抗を測定して実証した。

シソーラス用語： スラリー ,  摩耗特性 ,  *薄膜 ,  アルミナ ,  ウエハ【IC】 ,  耐摩耗性 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  高速度鋼 ,  *トライボロジー ,  噴流 ,  *物理蒸着 ,  ケイ素 ,  *エロージョン腐食 ,  摩耗率 ,  シリコンウエハ ,  単結晶シリコン ,  窒化チタン ,  機械的性質 ,  耐性

分類 (3件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  噴流  (BC02080F) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (10件)： 硬質 ,  摩耗特性 ,  評価 ,  マイク ,  ロス ,  ラリー ,  噴流 ,  エロージョン ,  試験機 ,  開発