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J-GLOBAL ID：200902298235145635   整理番号：08A1121387

球面収差補正電子回折によるシリコンのダンベル構造の回折画像処理

Diffractive imaging of the dumbbell structure in silicon by spherical-aberration-corrected electron diffraction

著者 (5件)： MORISHITA Shigeyuki (Dep. of Crystalline Materials Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  YAMASAKI Jun (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  NAKAMURA Keisuke (Dep. of Crystalline Materials Sci., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  KATO Takeharu (Nanostructures Res. Lab., Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, JPN) ,  TANAKA Nobuo (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 93  号： 18  ページ： 183103  発行年： 2008年11月03日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.136nmの分離で知られている結晶シリコンのダンベル構造を,電子ビームを用いた回折画像処理によって明確に再構成した。結果の空間分解能は約0.1nmと推定される。球面収差補正透過型電子顕微鏡に制限視野回折法を用いることによって,それらが薄膜試料に埋込まれた局在構造などの空の空間によって取り囲まれなくても,ナノ構造を原子分解能で再構成することができる。これは,本方法が,電子ビームによって回折画像処理の多才さを大幅に拡大するユニークな可能性を持っていることを意味している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 球面収差 ,  収差補正 ,  *電子回折 ,  ケイ素 ,  亜鈴 ,  *画像処理 ,  電子ビーム ,  再構成 ,  空間分解能 ,  透過型電子顕微鏡 ,  制限視野回折 ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  高分解能

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  電子回折法  (BK01030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 球面収差補正 ,  電子回折 ,  シリコン ,  ダンベル ,  回折 ,  画像処理