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J-GLOBAL ID：200902298275549240   整理番号：08A0957036

原子分解能のナノメカニカルな質量センサ

An atomic-resolution nanomechanical mass sensor

著者 (6件)： JENSEN K. (Univ. California at Berkeley, California, USA) ,  JENSEN K. (Lawrence Berkeley National Lab., California, USA) ,  KIM Kwanpyo (Univ. California at Berkeley, California, USA) ,  KIM Kwanpyo (Lawrence Berkeley National Lab., California, USA) ,  ZETTL A. (Univ. California at Berkeley, California, USA) ,  ZETTL A. (Lawrence Berkeley National Lab., California, USA)
資料名： Nature Nanotechnology  (Nature Nanotechnology)
巻： 3  号： 9  ページ： 533-537  発行年： 2008年09月 
JST資料番号： W2059A  ISSN： 1748-3387  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械的共振器は「振動周波数シフトを監視して吸着した微小質量を検出する質量天秤」に使われて来た。リソグラフィと材料合成技術はナノスケールの機械的共振器(精密な力・位置・質量センサ)の製作を実現した。今回示す「カーボンナノチューブに基づくナノメカニカル共振器」は,基本的には「質量感度1.3×10^-25kg/Hz^1/2:0.4金原子/Hz^1/2相当」の質量分光計である。原子質量ショット雑音(電子ショット雑音と類似なもので,半導体実験での測定対象)の測定例を示した。従来の質量分光計と比べ「試験片の破壊的イオン化の可能性も低く大分子に対し高感度」でチップ組込もできる。

シソーラス用語： 質量分析計 ,  質量分析 ,  カーボンナノチューブ ,  固体素子 ,  *マイクロマシン ,  リソグラフィー ,  ナノメータ加工 ,  原子量 ,  *微量天秤 ,  ナノデバイス
準シソーラス用語： *マススペクトロメーター ,  ナノマシン ,  ナノリソグラフィー ,  原子質量

分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 原子分解能 ,  質量センサ