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J-GLOBAL ID:200902298825097369   整理番号:06A0441217

分圧真空標準に関する調査研究

A Survey of partial pressure standard
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 67-80  発行年: 2006年05月 
JST資料番号: F0410B  ISSN: 1347-1473  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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真空装置の運転状態把握には全圧に加え分圧の測定が重要で,真空...
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分類 (3件):
分類
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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  ,  分析機器  ,  質量分析計 
タイトルに関連する用語 (5件):
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