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J-GLOBAL ID：200902299139814212   整理番号：09A0964388

プロトン交換加速エッチングによるLiNbO₃薄膜結晶におけるリッジ導波路の製作

Fabrication of ridge waveguides in LiNbO₃ thin film crystal by proton-exchange accelerated etching

著者 (3件)： TAKAOKA T. (Osaka Univ., Suita, JPN) ,  FUJIMURA M. (Osaka Univ., Suita, JPN) ,  SUHARA T. (Osaka Univ., Suita, JPN)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 45  号： 18  ページ： 940-941  発行年： 2009年08月27日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最初に有限要素法によりTM₀₀モードプロファイルの計算を行った。リッジ構造の断面は高さ1.5μm,上辺及び下辺は3.5μm,5.0μmの台形である。LiNbO₃の屈折率は波長1.55μm,0.775μmについて2.138,2.179とする。強度プロファイルのFWHM(半値全幅)は波長1.55μmについて深さ1.10μm,幅2.33μmであった。ZカットLiNbO₃結晶をLiNbO₃基板上に接着して厚さ2.1μmにする。10mm×5.0μmのSiO₂ストライプマスクパターンをホトリソとRIEで形成する。リッジの両側は傾斜の異る2つの壁から成る。以上によりLiNbO₃リッジ導波路を作る簡単な一方法が得られた。

シソーラス用語： *リッジ導波管 ,  *ニオブ酸リチウム ,  エッチング ,  *薄膜
準シソーラス用語： プロトン交換加速エッチング

分類 (1件)： 導波管,同軸線路  (NC04040N)

タイトルに関連する用語 (7件)： プロトン交換 ,  加速 ,  エッチング ,  薄膜 ,  結晶 ,  リッジ導波路 ,  製作