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J-GLOBAL ID：200902299425753859   整理番号：06A0555112

マグネトロンスパッタリングによって成長させたEr₂O₃薄膜の光学ならびに構造特性

Optical and structural properties of Er2O3 films grown by magnetron sputtering

著者 (7件)： MIRITELLO M. (MATIS CNR-INFM and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universita di Catania, via Santa Sofia 64, 95123 ...) ,  LO SAVIO R. (MATIS CNR-INFM and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universita di Catania, via Santa Sofia 64, 95123 ...) ,  PIRO A. M. (MATIS CNR-INFM and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universita di Catania, via Santa Sofia 64, 95123 ...) ,  FRANZO G. (MATIS CNR-INFM and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universita di Catania, via Santa Sofia 64, 95123 ...) ,  PRIOLO F. (MATIS CNR-INFM and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universita di Catania, via Santa Sofia 64, 95123 ...) ,  IACONA F. (CNR-IMM, Sezione di Catania, Stradale Primosole 50, 95121 Catania, ITA) ,  BONGIORNO C. (CNR-IMM, Sezione di Catania, Stradale Primosole 50, 95121 Catania, ITA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 100  号： 1  ページ： 013502-013502-7  発行年： 2006年07月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングによって堆積したEr<sub>2<...

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタリング ,  成長 ,  Er2O3 ,  薄膜 ,  光学 ,  構造特性