特許

J-GLOBAL ID：200903000002417621

表示用基板の搬送装置

発明者： 尾石 上人 ,  小坂 裕 ,  藤原 慎治 ,  植木 勲
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-168635
公開番号（公開出願番号）：特開2002-368058
出願日： 2001年06月04日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】【課題】 表示用基板が搬送途中において搬送アームから滑り落ちないようにすることにある。【解決手段】 搬送装置は、表示用基板を第1の方向に搬送する。この搬送装置は、第1の方向と交差する第2の方向に間隔をおいた少なくとも一対の搬送アームを含み、それらの搬送アームは表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する弾性体を備え、一対の搬送アームは、駆動機構により第1及び第2の方向へ同期して移動される。

請求項（抜粋）：

表示用基板を第1の方向に搬送する装置であって、前記第1の方向と交差する第2の方向に間隔をおいた少なくとも一対の搬送アームであってそれぞれが表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を備える搬送アームと、該搬送アームを前記第1の方向へ同期して移動させると共に前記搬送アームを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる駆動装置とを含む、表示用基板の搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  G09F 9/00 352 ,  G02F 1/13 101

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 Q ,  B25J 15/08 S ,  B65G 49/06 A ,  G09F 9/00 352 ,  G02F 1/13 101

Fターム (36件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA16 ,  3C007AS24 ,  3C007DS06 ,  3C007ES03 ,  3C007ET08 ,  3C007EU01 ,  3C007EU18 ,  3C007EV10 ,  3C007EV14 ,  3C007EV18 ,  3C007EV21 ,  3C007EV22 ,  3C007EV24 ,  3C007HT20 ,  3C007NS13 ,  5F031CA05 ,  5F031FA15 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031HA24 ,  5F031HA26 ,  5F031KA11 ,  5F031MA33 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特開平1-316147
  
• 特開平1-316147
  
• CVDによる成膜方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148410   出願人：住友金属工業株式会社
• ウェーハ保持機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-329910   出願人：ソニー株式会社
• 液晶パネル用検査ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-180275   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 特開昭49-125259
  
• 平行移動型チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-136155   出願人：ぺんてる株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-024700   出願人：大日本スクリーン製造株式会社