検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148808
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339606
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被検物の観察すべき位置が観察装置の光軸位置に来るように相対移動させるとき、移動方向と移動量とを直感的に把握できる指標を表示し、オペレータの観察、検査作業を簡単、且つスピーディにできるようにすることを目的とする。【解決手段】前記課題を解決する本発明の検査装置は、被検物を載置し、水平面内の互いに直角な方向に手動操作により移動するステージと、該ステージの位置を検出する位置検出装置と、前記被検物を前記水平面にに垂直な光軸を有する光学系を介して観察する観察装置とを備える検査装置において、前記被検物の所定の位置が前記光軸位置に来る前記ステージの位置を、前記被検物の観察手順の順序で記憶する記憶部と、前記ステージの現在の位置を表示すると共に、前記記憶したステージの位置を前記記憶した順序に従って表示する表示部とを更に備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検物を載置し、水平面内の互いに直角な方向に移動するステージと、該ステージの位置を検出する位置検出装置と、前記被検物を前記水平面に垂直な光軸を有する光学系を介して観察する観察装置とを備える検査装置において、前記被検物の所定の位置が前記光軸位置に来る前記ステージの位置を、前記被検物の観察手順の順序で記憶する記憶部と、前記記憶したステージの位置を示す第1の指標を前記記憶した順序に従って表示すると共に、前記ステージの現在の位置を示す第2の指標を表示する表示部とを更に備えたことを特徴とする検査装置。

FI (3件)：

G01B 11/00 C , G01B 11/00 F , G01B 11/00 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

測定顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-014827 出願人：株式会社トプコン

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