特許

J-GLOBAL ID：200903000014941202

ワーク洗浄方法および洗浄装置

発明者： 岡村 和彦 ,  宮川 拓也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-050178
公開番号（公開出願番号）：特開平7-313947
出願日： 1991年01月31日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】洗浄剤を含む洗浄液を用いて効率よくワークを洗浄し、ワーク内において均一な洗浄品質を確保することが可能なワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法を実現することを目的としている。【構成】洗浄槽の内壁部には洗浄液の圧送手段に接続した噴射ノズルが設けられており、洗浄槽の洗浄液中に浸漬された状態のワークに対して、該噴射ノズルから洗浄液を噴射することによって、ワークを洗浄する。

請求項（抜粋）：

洗浄剤を含む洗浄液の中に洗浄すべきワークを浸漬し、この浸漬状態にあるワークに対して洗浄液の噴流を吹きつけることにより、前記ワークから付着物などを洗い落とす洗浄工程と、この洗浄工程を経たワークを純水中に浸漬し、この浸漬状態にあるワークに対して純水の噴流を吹きつけることにより、このワークに付着している前記洗浄液を洗い落とす第1のリンス工程と、この第lのリンス工程を経たワークに対して純水を供給して、ワークに付着している前記洗浄液を洗い落とす第2のリンス工程とを含むワーク洗浄方法。

IPC (7件)：

B08B 3/10 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/68 ,  H05K 3/26