特許
J-GLOBAL ID：200903000021980000
超純水製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225681
公開番号（公開出願番号）：特開平6-063592
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 TOCが著しく低減された超純水を製造する。【構成】 生物処理手段1を含む原水の前処理装置A、一次純水製造装置B及び二次純水製造装置Cを備える超純水製造装置。【効果】 従来の前処理装置では除去し得ず、超純水中のTOC源となる、原水中の尿素を高度に除去することができ、TOC濃度が著しく低減された超純水を得ることが可能とされる。
請求項（抜粋）：
原水の前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製造装置において、該前処理装置は、生物処理手段を含むことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件)：
C02F 9/00
, C02F 1/42
, C02F 1/44
