特許
J-GLOBAL ID：200903000022147590
洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307294
公開番号（公開出願番号）：特開平7-138596
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 洗浄剤の有効利用とすすぎ液の排水処理の容易化とを両立させる。【構成】 すすぎ液に対する溶解度が0.1〜20wt%の洗浄剤で洗浄を行った後、すすぎ液内に投入し、表面に付着している洗浄剤を剥離する。剥離した洗浄剤を比重によりすすぎ液と分離し、すすぎ液中の洗浄剤の含有率を低減させてすすぎ液の排水処理を容易にする。分離した洗浄剤を洗浄工程に再供給して、その有効利用を行う。
請求項（抜粋）：
すすぎ液に対する溶解度が0.1〜20wt%の洗浄剤で被洗浄物を洗浄する第1工程と、この第1工程で被洗浄物表面に付着した洗浄剤を前記すすぎ液により被洗浄物表面から剥離すると共にすすぎ液と洗浄剤とを比重分離する第2工程と、この第2工程後の被洗浄物をすすぎ液に接触させて未剥離の洗浄剤を溶解しすすぎ液で置換する第3工程とからなることを特徴とする洗浄方法。
IPC (3件)：
C11D 7/50
, B08B 3/14
, C11D 7:26
