走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044948
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236750
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】パラメータを決定するまでに必要な走査回数を最小限に抑え、標本のダメージを軽減すること。【解決手段】走査型顕微鏡2の測定パラメータの決定方法であり、以下のステッフを含む。(a)受光素子3の出力を複数段で設定できる入力制御量を求めるステップ、(b)受光素子3にステップ(a)で求めた入力制御量を設定して標本画像データを取り込むステップ、(c)標本画像データの最大値が所定条件を満たすまで入力制御量を変えてステップ(b)を繰り返しダイナミックレンジを求めるのに適した入力制御量を選択するステップ、(d)選択した入力制御量を受光素子3に設定して出力電流のダイナミックレンジを測定するステップ、(e)A/D変換手段6でディジタル変換可能な最大値とステップ(d)で求めたダイナミックレンジとからオフセット及びゲインを決定するステップ。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出射されたレーザ光を走査光学系を介して集光光学系に導いて標本を走査し、レーザ光で走査された標本からの反射光又は透過光を受光素子に入射してアナログ電気信号に変換し、このアナログ電気信号をオフセット調整部及びアナログ増幅部でそれぞれオフセット及びゲイン調整した後、A/D変換手段でディジタル信号に変換した信号を標本画像データとして取り込み、制御用計算機から前記受光素子、オフセット調整部及びアナログ増幅部の受光感度、オフセット及びゲインといった測定パラメータを制御する走査型顕微鏡における測定パラメータの決定方法であり、(a)前記受光素子の出力を複数段で設定できる入力制御量を求めるステップ、(b)前記受光素子にステップ(a)で求めた入力制御量を設定して標本画像データを取り込むステップ、(c)前記標本画像データの最大値が所定条件を満たすまで入力制御量を変えてステップ(b)を繰り返し前記受光素子の出力電流のダイナミックレンジを求めるのに適した入力制御量を選択するステップ、(d)選択した入力制御量を前記受光素子に設定して出力電流のダイナミックレンジを測定するステップ、(e)前記A/D変換手段でディジタル変換可能な最大値とステップ(d)で求めたダイナミックレンジとから前記オフセット及びゲインを決定するステップ、を含んでなる走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法。

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