特許

J-GLOBAL ID：200903000026331515

露光装置

発明者： 鈴木 康之 ,  安藤 謙二 ,  大谷 実 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242029
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 長期間使用しても、照度低下、照度ムラ変化が少なく、安定して露光が行え、また、照度が変化した場合にも、容易にメンテナンス可能な露光装置を提供する。【解決手段】 光源からの光束をレンズを含む光学系を介して通過させ、レチクルを通して露光対象物上に露光する露光装置において、前記光学系を含むチャンバー2と、Si、Al、Mg、NH4、およびこれらを含む化合物をあらかじめ除去した酸化性ガスを前記チャンバー内に供給する手段4と、前記チャンバーに設けられたガス排出孔と、前記チャンバー内のガスを処理する手段6とを有する露光装置とする。

請求項（抜粋）：

光源からの光束をレンズを含む光学系を介して通過させ、レチクルを通して露光対象物上に露光する露光装置において、前記光学系を含むチャンバーと、Si、Al、Mg、NH4、およびこれらを含む化合物をあらかじめ除去した酸化性ガスを前記チャンバー内に供給する手段と、前記チャンバーに設けられたガス排出孔と、前記チャンバー内のガスを処理する手段とを有することを特徴とする露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 514 E ,  H01L 21/30 515 F