特許

J-GLOBAL ID：200903000029968239

レーザプラズマX線源

発明者： 粉川 信好 ,  松井 哲也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325017
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143893
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】ターゲットがガスなどの気体の場合、X線発生効率を向上できるレーザプラズマX線源を提供すること。【解決手段】プラズマ生成に寄与せず透過するレーザ光を反射させ再度プラズマに入射させる反射部材を備えるレーザプラズマX線源により達成される。

請求項（抜粋）：

真空容器内でレーザ光をターゲットに照射してプラズマを生成し、そのプラズマからX線を発生させるレーザプラズマX線源において、プラズマ生成に寄与せず透過する前記レーザ光を反射させ再度プラズマに入射させる反射部材を備えるレーザプラズマX線源。

IPC (4件)：

H05G 2/00 ,  G21K 1/00 ,  H05G 1/02 ,  H05H 1/24

FI (4件)：

G21K 1/00 X ,  H05G 1/02 L ,  H05H 1/24 ,  H05G 1/00 K

Fターム (6件)：

4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092CD10 ,  4C092CE20