特許

J-GLOBAL ID：200903000033988899

耐腐食性配線およびこれを用いる能動素子並びに表示装置

発明者： 平野 直人
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243043
公開番号（公開出願番号）：特開平10-091089
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、低抵抗および低コストであるAl材料の特性を失うことなく、フォトリソグラフィー工程中にアルカリ現像液によるAl-ITO間の電気腐食反応を効果的にしかも簡便に抑制しうる配線または電極、およびこれらを用いる薄膜トランジスタ等の能動素子を提供することを目的とする。【解決手段】 導電材料として、透明導電膜と、アルカリ腐食速度が純アルミニウムより小さいアルミニウム合金膜とを有し、かつこの透明導電膜とアルミニウム合金膜とが少なくとも1箇所で接触または積層しており、少なくとも1回のアルカリ現像液を用いるフォトリソグラフィー工程により製造されることを特徴とする配線または電極。

請求項（抜粋）：

導電材料として、透明導電膜と、アルカリ腐食速度が純アルミニウムより小さいアルミニウム合金膜とを有し、かつこの透明導電膜とアルミニウム合金膜とが少なくとも1箇所で接触または積層しており、少なくとも1回のアルカリ現像液を用いるフォトリソグラフィー工程により製造されることを特徴とする配線または電極。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-134426
  
• 液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-306549   出願人：三洋電機株式会社