照明光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225744
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067556
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】紫外線を用いた半導体露光装置の照明を効率よくおこなう。【構成】紫外光発生装置と被照射面の輝度分布を均一にするためのホモジナイザーと被照射面に設置されたマスクを照明するための集光レンズより構成され、ホモジナイザーと集光レンズがゾーンプレートより構成されている。ゾーンプレートで実現することによりガラスによる紫外光の吸収を少なくすることができる。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源と、該光束の強度分布を均一にするための光学素子と、被照射物体を照明する光学素子を有する照明光学装置において、前記光束の強度分布を均一にするための光学素子および被照射物体を照明する光学素子がゾーンプレートで構成されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 L

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