特許
J-GLOBAL ID：200903000036928153
マイクロレンズ付発光素子アレイチップ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山崎 輝緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204183
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036144
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、発光部の表面領域の段差の影響や、接触面の活性化エネルギ-の違いの影響を受けることなく、表面に歪みやストレスが生じないマイクロレンズ付LEDアレイチップを提供する。【解決手段】 本発明は、n型の基板2上に拡散防止膜3、拡散窓4、発光部5、p電極6及びマイクロレンズ8を形成したマイクロレンズ付LEDアレイチップ1であって、前記発光部5とマイクロレンズ8との間に発光部表面領域の段差より厚さが大きい平坦化層7を設けたことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に拡散防止膜、拡散窓、発光部、電極及びマイクロレンズを形成したマイクロレンズ付発光素子アレイチップであって、前記発光部とマイクロレンズとの間に発光部表面領域の段差より厚さが大きい平坦化層を設けたこと、を特徴とするマイクロレンズ付発光素子アレイチップ。
Fターム (7件)：
5F041AA40
, 5F041CA03
, 5F041CA12
, 5F041CA38
, 5F041CA72
, 5F041CB14
, 5F041CB22
