特許
J-GLOBAL ID：200903000037952465
ウエハアダプター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270046
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120131
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【構成】 ウエハアダプター3には収容保持すべきウエハ1の厚さと実質的に等しい深さを有し、かつウエハ1とほぼ等しい形状の凹部4が設けられ、凹部4の底面にはウエハ1を真空吸着するための貫通孔5が設けられている。【効果】 ウエハの全面に均一な厚さのレジストを塗布することができるので、ウエハの端部に至るまで半導体装置を作ることができる。
請求項（抜粋）：
収容保持すべきウエハの厚さと実質的に等しい深さを有し、かつ該ウエハとほぼ等しい形状の凹部が設けられ、該凹部の底面には前記ウエハを真空吸着するための貫通孔が設けられていることを特徴とするウエハアダプター。
IPC (2件)：
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