特許

J-GLOBAL ID：200903000039142550

プラズマ生成装置用高周波電源装置

発明者： 大越 康雄 ,  ▲高▼橋 洋二 ,  金清 任光 ,  梅本 強志
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058903
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257699
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】断続する高周波出力の出力精度を向上することのできるプラズマ生成装置用高周波電源装置を提供する。【解決手段】高周波電源装置は、断続する高周波出力のピーク値を検出するピーク値検出部、及びピーク値検出部が検出した断続する高周波出力のピーク値と予め設定した高周波出力のピーク設定値とを比較して高周波出力のピーク値をピーク設定値に制御する出力制御部22を備えた第1の制御ループ22,24,29と、断続する高周波出力の平均値を検出するモニタ部と、予め設定したピーク設定値及びデューティ比設定値をもとに断続する高周波出力の平均値を演算する演算手段を備え、モニタ部が検出した高周波出力の平均値と演算手段が演算した高周波出力の平均値をもとに、変調部を制御する変調基準信号を生成するパルス生成部35を備えた第2の制御ループ24,28,35aを有する。

請求項（抜粋）：

変調基準信号及びピーク値設定信号をもとに断続する高周波出力を生成する変調部を備えたプラズマ生成装置用高周波電源装置であって、該高周波電源装置は、前記断続する高周波出力のピーク値を検出するピーク値検出部、及び該ピーク値検出部が検出した前記断続する高周波出力のピーク値と予め設定した高周波出力のピーク設定値とを比較して前記高周波出力のピーク値を前記ピーク設定値に制御する出力制御部を備えた第1の制御ループと、前記断続する高周波出力の平均値を検出するモニタ部と、前記予め設定したピーク設定値及びデューティ比設定値をもとに前記断続する高周波出力の平均値を演算する演算手段を備え、前記モニタ部が検出した高周波出力の平均値と前記演算手段が演算した高周波出力の平均値をもとに、前記変調部を制御する変調基準信号を生成するパルス生成部を備えた第2の制御ループを有することを特徴とするプラズマ生成装置用高周波電源装置。