特許

J-GLOBAL ID：200903000041271049

除振装置

発明者： 渡辺 和英 ,  金光 陽一 ,  池田 幸雄
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-162233
公開番号（公開出願番号）：特開平5-125819
出願日： 1991年06月06日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 防振ゴムや空気ばねを用いた除振装置においては、設置床からの振動は、そのバネ・マス系の共振周波数以下では除振の効果が無い。また、水平方向の共振周波数は鉛直方向と同等か高いので防振効果は一般に鉛直方向よりも低く、特別な対策を必要とする場合もある。本発明はこれらの問題点を解決することを目的とする。【構成】 除振台床板の底面に導電性で非磁性体の板を装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直に与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接触で支持する構成とする。

請求項（抜粋）：

除振台床板の底面に導電性で非磁性体の板を装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直に与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接触で支持し、設置床から除振台床板を絶縁することによって、床からの振動を遮断する除振装置。

IPC (6件)：

E04F 15/18 ,  B23Q 11/00 ,  E04H 9/02 ,  F16F 15/03 ,  G01H 17/00 ,  H01L 21/027