特許
J-GLOBAL ID：200903000043145890
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078582
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277825
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】圧電性の指標となる圧電定数と、柔軟性の指標となる曲げ剛性を、特定の範囲内に限定することにより、センサ等の電子部品として使用可能なレベルの圧電素子を提供する。【解決手段】可撓性基板15の両面に圧電結晶薄膜16が形成され、この圧電結晶薄膜16に電極層20が取り付けられた圧電素子21であって、圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されている。
請求項（抜粋）：
可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子であって、圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されていることを特徴とする圧電素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 C
, G01L 1/16 A
