ヒーター及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本多小平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127102
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338380
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】絶縁性基板上に設けた抵抗層により加熱を行うヒーターにおいて、前記抵抗層を熱伝導率及び硬度の高い保護層によって覆い、ヒーターの熱効率や耐久性を向上すること。【構成】絶縁性基板2と、該絶縁性基板に支持され通電により発熱する抵抗層3と、抵抗層端部に設けられた電極端子部12を有するヒーターにおいて、前記抵抗層3の保護層として気相合成法により形成したダイヤモンド層6を用いた。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板と、該絶縁性基板に支持され通電により発熱する抵抗層と、抵抗層端部に設けられた電極端子部を有するヒーターにおいて、前記抵抗層の保護層として気相合成法により形成したダイヤモンド層を用いることを特徴とするヒーター。

IPC (4件)：

H05B 3/18 , G03G 15/20 101 , H05B 3/00 320 , H05B 3/16

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