特許

J-GLOBAL ID：200903000049728480

半導体試験装置

発明者： 鈴木 貫二 ,  片岡 桂樹 ,  佐藤 裕
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-266598
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078509
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】 動作マージンの確認ができる自己診断機能を備えた半導体試験装置を実現する。【解決手段】 本発明は、電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置に改良を加えたものである。本装置は、電源部に設けられ、給電電圧を変動させる給電電圧変更手段と、試験部の診断時に、給電電圧を変動させる指令を給電電圧変更手段に出力する制御部と、を備える装置である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、 前記電源部に設けられ、給電電圧を変更する給電電圧変更手段と、 前記試験部の診断時に、前記給電電圧を変動させる指令を前記給電電圧変更手段に出力する制御部と、 を備えることを特徴とする半導体試験装置。

IPC (1件)：

G01R 31/28

FI (1件)：

G01R31/28 H

Fターム (6件)：

2G132AA00 ,  2G132AE11 ,  2G132AE22 ,  2G132AE27 ,  2G132AL00 ,  2G132AL38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-125373   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (2件)

• IC試験装置およびその故障診断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-077509   出願人：安藤電気株式会社
• IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-125373   出願人：株式会社日立製作所