特許
J-GLOBAL ID:200903000053748398
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
朝日奈 宗太 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-517215
公開番号(公開出願番号):特表2003-507758
出願日: 2000年08月10日
公開日(公表日): 2003年02月25日
要約:
【要約】本発明は、アルカリ水溶液下で現像が可能である感光性樹脂組成物にかかわり、露光過程のうち露光部位においてバインダ樹脂と架橋化合物との化学的結合と同時にバインダ樹脂鎖間の化学的結合を起こすことができるようにして、現像過程で露光部位と非露光部位との溶解度の差を極大化することにより分解能に優れており、また、架橋化合物の使用量を減少させることにより、全体UV露光量が減され、工程上有利であるだけでなく、膜特性に優れた感光性樹脂を提供する。
請求項(抜粋):
自己硬化形バインダ樹脂、少なくとも2つのエチレン系不飽和結合を有する架橋化合物、光重合開始剤および溶剤からなる感光性樹脂組成物において、自己硬化形バインダ樹脂が下記化学式1で表わされる化合物である感光性樹脂組成物。化学式1 -A-B-C- ここで、Aは下記化学式1-Aで表わされる化合物であり、化学式1-A 【化1】 Bは下記化学式1-Bで表わされる化合物であり、化学式1-B 【化2】 Cは、下記化学式1-Cおよび/または1-C′で表わされる化合物であり、化学式1-C 【化3】化学式1-C′ 【化4】 上記式でR1はHまたは-CH3であり、R2は炭素原子数1〜8のアルキル基、ヒドロキシ基が置き換えられたアルキル基、または、置換または非置換の炭素原子数1〜12のアリル基であり、R3はベンゼン、炭素原子数1〜8のアルキル基、炭素原子数1〜8のアルコキシ基、炭素原子数1〜6のアルキル置換基を有するベンゼン、炭素原子数1〜8のアルコキシ置換基を有するベンゼンまたは水酸基またはハロゲンが置き換えられたベンゼンである。
IPC (4件):
G03F 7/038 501
, C08F 8/00
, C08F290/12
, G03F 7/027 502
FI (4件):
G03F 7/038 501
, C08F 8/00
, C08F290/12
, G03F 7/027 502
Fターム (39件):
2H025AB13
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC53
, 2H025BC85
, 2H025BC92
, 2H025CA01
, 2H025CA28
, 2H025CC03
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J027AA01
, 4J027BA19
, 4J027BA21
, 4J027BA26
, 4J027CB10
, 4J027CC05
, 4J027CD10
, 4J100AB02R
, 4J100AB04R
, 4J100AB07R
, 4J100AJ02P
, 4J100AL03Q
, 4J100AL08Q
, 4J100BA03R
, 4J100BC04Q
, 4J100BC43Q
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100CA31
, 4J100DA01
, 4J100HA53
, 4J100HC00
, 4J100HE22
, 4J100HE41
, 4J100JA37
引用特許:
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