切削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-170181
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004620
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】蛇腹部材を確実に保護することができるとともに、保護プレート部材の破損を防止することができる蛇腹機構を備えた切削装置を提供する。【解決手段】往復動せしめられるチャックテーブルと、チャックテーブル上に保持された被加工物を切断するための切断手段と、一端がチャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構とを具備し、蛇腹機構がシート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着され蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有する複数の保護プレート部材とを備えている切断装置であって、チャックテーブルに片側端部が取り付けられ複数の保護部材の上側を覆いチャックテーブルの移動に伴って複数の保護プレート部材上を移動するカバーシートが配設されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を切断するための切断手段と、一端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構とを具備し、該蛇腹機構がシート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着され該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有する複数の保護プレート部材とを備えている、切断装置において、該チャックテーブルに片側端部が取り付けられ該複数の保護部材の上側を覆い該チャックテーブルの移動に伴って該複数の保護プレート部材上を移動するカバーシートが配設されている、ことを特徴とする切削装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B23Q 11/08

FI (2件)：

H01L21/78 F , B23Q11/08 B

Fターム (1件)：

3C011DD06

引用特許：

出願人引用 (1件)

蛇腹機構および蛇腹機構を備えた切断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-350771 出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (8件)

蛇腹機構および蛇腹機構を備えた切断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-350771 出願人：株式会社ディスコ
特開昭62-054645
特表昭61-501138

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