特許
J-GLOBAL ID：200903000058500882
薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142847
公開番号（公開出願番号）：特開2000-339654
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 複数の薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダーバーの加工時の厚みバラツキにも拘わらず、複数のスライダーバーのエアーベアリング形成面を一平面上にあるようにして、段差のない液状フォトレジスト塗布面を得る製造方法を提供する。【解決手段】 高精度な平面度を有し且つ平滑な平面を持つ面規制治具にスライダ-バ-のエア-ベアリング形成面を真空吸着した後、エア-ベアリング形成面の対面となるスライダ-バ-裏面とスライダ-バ-固着治具を、真空吸着した状態を保持したまま、接着剤で接着固定する。その後、真空吸着面を開放すれば、平面度の高い面規制治具の精度の良い平面に倣ってエアーベアリング形成面が形成され、従って段差のない液状フォトレジスト塗布面を得る。
請求項（抜粋）：
薄膜磁気ヘッド素子を主基板の長手方向に複数個有し所定形状に加工された直方体のスライダーバーに、所定厚の液状フォトレジスト膜を形成しフォトリソグラフィ技術によってエアーベアリング形状を形成する製造方法において、前記スライダ-バ-を複数個並べて前記エアーベアリング形状を形成するエアーベアリング形成面である液状フォトレジスト塗布面を一平面上にあるようにする方法であって、高精度の平面度を有し平滑で且つ所定サイズの吸着穴を複数個有した面規制治具に複数の前記スライダーバーの前記エアーベアリング形成面を吸着させる第1の工程と、前記スライダーバーの吸着対面である裏面側と、所定の接着剤を予め塗布したスライダーバー固着治具とを、前記接着剤を介して接触させて、硬化させる第2の工程と、前記面規制治具の真空吸着面を解放して、前記液状フォトレジスト塗布面を形成する第3の工程と、を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法。
Fターム (5件)：
5D042NA02
, 5D042PA09
, 5D042RA02
, 5D042RA04
, 5D042RA10
