特許
J-GLOBAL ID：200903000071751975

多軸加速度センサ及びその製造方法

発明者：
平田 善明

平田 善明 について

, 
番 政広

番 政広 について

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紺野 伸顕

紺野 伸顕 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051967
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 従来の加速度センサでは、加速度の1軸方向の検出に限定されたが、1つのセンサエレメントで加速度の2軸もしくは3軸方向の加速度が測定可能で低コストの多軸加速度センサを得る。【解決手段】 1つのセンサエレメント内に面内2軸、面外1軸変位が可能な可動電極構造を作成し、それぞれの検出軸に一定の空隙を介して検出用固定電極を設けて可動電極ー固定電極の容量変化を検出することにより2軸もしくは3軸の加速度成分を検出する。センサの動特性の調整は、可動電極の質量と可動電極を支持する梁の構造、長さ、断面の長さ比で行う。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコンからなり、ウエハ面内に1つ以上の質量体を有し、この質量体を複数の方向に変位可能とする1つ以上の梁で保持し、加速度による質量体の複数の方向の変位を静電容量で検出する変位検出手段を有し、複数の軸方向の加速度検出をする多軸加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125 ,  G01L 5/16 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01P 15/125 ,  G01L 5/16 ,  H01L 29/84 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
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